金融界2024年9月27日消息，国家知识产权局信息显示，中芯北方集成电路制造（北京）有限公司取得一项名为“一种蚀刻装置”的专利，授权公告号CN 221766704 U，申请日期为2023年10月。

　　专利摘要显示，本申请提供一种蚀刻装置，包括：反应腔；排气装置，所述排气装置与所述反应腔的出气口连通，用于排出所述反应腔内的气体；以及检测装置，亿德体育官网所述检测装置与所述反应腔连通，用于获取所述反应腔的泄漏点。所述蚀刻装置设置有与所述反应腔连通的所述检测装置，可以在所述反应腔产生泄漏点时，亿德体育官网及时快速地确定泄漏点，减少确认泄漏点所需时间，进而降低所示蚀刻装置运行成本。