金融界 2024 年 9 月 13 日消息，天眼查知识产权信息显示，亿德体育app台湾积体电路制造股份有限公司申请一项名为“排气装置和处理站“，公开号 CN1.7，申请日期为 2024 年 5 月。

　　专利摘要显示，提供了一种装置。装置包括具有进口的晶圆存储器件，气体通过该进口流入晶圆存储器件的晶圆存储室。气体的第一部分通过晶圆存储器件的出口离开晶圆存储器件的晶圆存储室。气体的第二部分通过晶圆存储器件的一个或多个间断离开晶圆存储器件的晶圆存储室，到达晶圆存储器件外部的空间。装置包括相对于晶圆存储器件布置为引导气体的第二部分的分量离开空间的排气器件。本申请的实施例还涉及排气装置和处理站。